二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9097285 待售
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ID: 9097285
晶圓大小: 8"
PECVD SiN system, 8"
(4) Chambers: PECVD SiN, lamp heated
Robot: Phase III
Robot blade assy: missing
TTW Config
Elevator: 15-slot
Egormica loader: optional
Phase 4 matches on each chamber
VME: 21-slot
Heat exchanger: AMAT-0.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II反應器是一種用於制造集成電路(IC)芯片的沈積工具。這種工具對於現代半導體材料的制造至關重要。它用於將材料的薄膜施加到基板上,從而允許創建微小晶體管和互連所需的復雜結構。這使得它成為IC芯片制造過程的關鍵部分。AMAT P5000 Mark II基於P5000工具平臺,為要求苛刻的應用程序提供高級流程功能。其總體占地寬度為64英寸,底座寬76英寸。該基地最多可支持四個工作單元,允許同時開展多個進程。每個電池都配有50厘米乘30厘米的石英襯裏,能夠承受高達1000 °C的溫度和高達5 Torr的壓力。細胞是可調的,可以附著在蒸發、濺射或離子摻雜源等各種來源上。該系統還配備了廣泛的傳感器,如壓力和溫度檢測,以及集成的觀賞區域。這允許用戶密切監視流程參數,以確保獲得最佳結果。此外,APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II使用開放式通信體系結構,使其能夠與廣泛的自動化系統集成。APPLIED MATERIALS P5000 Mark II也有其他配置可用,例如P5000EO版本,即二氧化碳激光,可用於激光燒蝕處理。此外,P5000TI版本有能力使用匹配的配對crucibles來增加溫度控制,以及飛機級的鋁制襯裏來提高溫度均勻性。所有這些功能使P5000 Mark II成為高級IC制造的通用且可靠的工具。
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