二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9196212 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II
ID: 9196212
晶圓大小: 8"
PVD System, 8" (2) Chambers MXP Oxide chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一種高性能沈積反應器,設計用於半導體工業。這種高端設備是針對用戶特定配置的定制反應堆。它旨在提供亞微米的均勻性和卓越的工藝能力。系統的反應物通過氣體輸送裝置輸送到反應頭或敏感器。所使用的反應物因施用不同而有所不同,但可能包括矽烷、氧氣、氦氣、氮氣、氙氣和其他相關氣體。反應物隨後註入反應室內,在那裏結合形成反應性等離子體。這種等離子體產生廣泛的底物,從單晶晶片到納米大小的顆粒。AMAT P5000 Mark II有兩個階段的設計,允許多個加熱和冷卻階段。加熱是通過感應或石英船等多種方法實現的。冷卻方法基於質量流控制器,該控制器將溫度保持在所需的水平。這臺機器還利用法拉第屏蔽在基材加工過程中引導等離子體粒子越過晶圓。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II還配備了3D控制工具,使用集成軟件實現對沈積速率、溫度和基板均勻性的精確控制。這樣可以更好地管理流程參數,並且可以針對不同的流程配方進行編程。該資產還與自動化裝載機集成在一起,以提高生產率和效率。該車型還具有緊急停車、報警和發生事故時自動停電等多種安全功能。P 5000 MARK II易於清潔、維護,並且可以改裝以定制反應堆用於特定應用。它是一種高端設備,具有增強的特性和優越的控制,保證了高質量的沈積和優越的產量。
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