二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9210742 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是為200 mm晶圓制造而設計的半導體加工反應器。它使用紅外加熱器，能夠在高溫下快速熱循環，進行各種過程，包括退火、氧化和沈積。該腔室配置有兩個分隔區和腔室，可在兩個腔室中獨立控制溫度。模塊化設計提供了從一個過程到下一個過程的連續性,從而可以輕松集成和優化過程。Mark II也有高長寬比蝕刻室的選項。Mark II使用室壓控制，總系統壓力和溫度控制為1000-5000 Torr。過程化學通過雙等離子體源、原位排氣等離子體、氣體化學管理等方式輸送。控制器包括一個內置的診斷系統,以確保最高質量的結果和可重復性。Mark II融合了多種硬件和軟件進步，包括用於多頻控制的RF發生器、用於溫度和壓力穩定性的Auto Tune、用於溫度漂移補償的智能導體和用於更好的RF效率的智能電極。這使得Mark II能夠實現更高的屈服度、更嚴格的工藝公差以及改進的熱均勻性。Mark II附帶的軟件還提供高級功能,包括流程工作流監視、配方調度和參數優化。最後，Mark II擁有一個整體式三軸機器人，可以方便地裝卸晶片。AMAT將Mark II設計為200 mm晶圓制造的一種經濟高效的選擇。AMAT P5000 Mark II具有先進的特性和可靠的性能，是半導體加工的理想選擇。