二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9213673 待售

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ID: 9213673
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一個多室、多區、原位沈積反應堆。它是專門為各種薄膜材料在超高真空中的高通量沈積而設計的。AMAT P5000 Mark II具有先進的微區技術,在整個沈積區提供了極好的均勻性和溫度均勻性。這確保了精確和可重現的薄膜沈積結果。該設備具有極高的均勻性和沈積率。該系統包括兩個獨立的真空室,用戶可以同時優化薄膜沈積和薄膜蝕刻的沈積條件。APPLICED MATERIALS P 5000 MARK II配備的先進高速運動控制,優化了基板位置、晶體生長方向和顆粒沈積。此外,紅外加熱、超低排放熱蒸發和快速熱退火等先進加熱選項也適用於不同的薄膜工藝。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000 MARK II專為頂級性能而設計,具有強大的真空環境。該裝置采用自動再結晶工藝,塗有氧化錫錫組件,采用低成本的直視離子源,以及世界上第一個采用先進反射法測量的端點檢測系統。這使機器能夠根據來自各種原位監控系統的反饋自動調整工藝條件。AMAT P 5000 MARK II也因其自動化的原位掃描電子顯微鏡而備受推崇,它能夠快速沈積和表征由工具引起的任何過程。P5000 Mark II提供卓越的過程控制,具有靈活性和可擴展性。先進的軟件套件和集成的集成能力允許用戶在改變環境或底物時,將不同反應堆的配方或使用配方從一個工藝轉移到另一個工藝。該資產的設計具有高度的工藝靈活性和不同的材料組合,可用於廣泛的沈積工藝。總之,P 5000 MARK II是一種先進的多室多區反應器,專門為各種材料的超高真空薄膜沈積而設計。該模型憑借其先進的微區技術,實現了具有靈活性、可擴展性、可擴展性和卓越同質性的卓越過程控制。該設備還包括一系列先進的功能,如自動再結晶工藝、氧化錫鈾組件、低成本的直接查看離子源和端點檢測,以確保每個工藝都能準確可靠地交付。
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