二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9298983 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一種先進的蝕刻工藝反應器,可提供更好的等離子體精度和控制,提高設備產量和性能,同時降低擁有成本。這種蝕刻工藝反應器適合於氙氣和氟基加工。它能夠蝕刻多種材料，如矽、多晶矽等。AMAT P5000 Mark II是一種配方驅動、具有生產能力的工具，有四個I/O操作中心和一個蝕刻室。它還具有多通道、低壓Monoblock™磁控管，可確保反應性氣體種類離子和氣體中和的受控功率水平。Monoblock磁控管提供等離子體輪廓的增強控制和精度，以最大限度地提高晶圓從邊緣到中心的過程均勻性。它還配備了射頻阻抗系統，可確保對反應物氣體的波動作出快速的自適應反應。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II旨在通過過程穩定性、吞吐量和生產率最大限度地提高生產率,並實現最佳蝕刻深度和輪廓控制。通過包括高級源調節模塊以實現射頻源匹配和過程優化,進一步提高了工藝性能。所包括的氣體輸送系統允許各種反應物氣體，並提供平衡的氣體流速、低反應物氣體泄漏和盡量減少晶圓上的汙染沈積。此外，該工藝室還配備了先進的薄膜沈積監測系統，為晶片上的沈積提供了原位晶片映射。通過監控沈積層，操作員可以快速檢測蝕刻工藝參數的任何細微變化，從而可以立即進行調整和校正。總體而言,應用材料P5000 Mark II蝕刻工藝反應器是一種功能強大的蝕刻工具,可提供改進的等離子體控制、均勻性和工藝優化,以最大限度地提高設備產量和性能。憑借其先進的控制系統和多通道射頻源，它為用戶提供了一種有效、可靠的材料處理手段。