二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9298984 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一種用於半導體器件制造的單晶圓電化學反應器。AMAT P5000 Mark II具有獨特的設計，結合了堅固的腔室結構和多個槳葉系統，實現了高通量和低顆粒汙染。腔室設計由熱壁結構組成，腔室容積為8升。腔室是完全密封的，允許比傳統的冷墻設置更高的壓力。槳系統包括上下兩個槳，以及一個加熱器支撐組件。這種設計允許晶片的高吞吐量，因為晶片在整個過程中均勻間隔和攪拌。該室采用不銹鋼腔體、真空安裝腔蓋、O形環腔蓋密封、特氟龍塗層腔壁和石英襯砌的加熱器塊構成。Mark II還配備了集成的蠕動泵，能夠準確高效地輸送化學品和反應物。泵的可編程控制器允許精確的泵速和化學流速。Mark II還提供了一系列附加功能,例如可選的雙電壓操作、多種冷卻選項和加熱的排氣真空。加熱的排氣真空在整個過程中保持一致的溫度，而冷卻選項有助於控制反應速率。Mark II還可以配備多種附加配件，包括氣體面板、氣體調節器、閥門以及多端口電容耦合等離子體（CCP）源。這些附件允許執行一系列處理任務,包括蝕刻、氧化、沈積等。總體而言，APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II是一種為半導體器件制造而設計的堅固、高效、可靠的單晶片電化學反應器。具有最大腔室壓力2.5 torr的熱壁室結構、高通量多槳系統、精密流量控制的集成蠕動泵、多端口CCP源等多種處理任務。