二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9298986 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II
ID: 9298986
晶圓大小: 6"
CVD System, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II反應堆是一種高精度基板處理設備,旨在為用戶提供IC集成(集成電路)生產的卓越性能。該工具利用多步工藝完善矽片,包括離子註入、外延層沈積和器件蝕刻。系統設計為每小時可處理多達106個晶圓,因此其基材尺寸為8英寸或200毫米。AMAT P5000 Mark II利用電感耦合等離子體(ICP)電場來產生摻雜基質上選定區域所需的離子。這種方法具有很高的可重復性和準確性,使工具能夠以經濟高效的方式生產出優越的IC。此外,APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II可以控制壓力、溫度和濃度等各種參數,從而提高了工具在基板上生產所需摻雜區域的控制和精度。該裝置既裝有用於外延沈積的高級初級室,又裝有用於蝕刻的高級第二室。這允許用戶利用其生產過程中的兩個階段。主室采用氣體輸送機來保證摻雜的準確性和穩定性。這種氣體輸送工具不斷受到監測和管理,以保持恒定和一致的摻雜過程。為了最大限度地提高性能並減少浪費,APPLIED MATERIALS P5000 Mark II利用了專有的3D自動資產接口。此界面為操作員提供進程的圖形表示,實時顯示關鍵參數和設置。這樣就可以更輕松地設置處理時間、溫度和其他變量。綜上所述,APPLIED MATERIA P5000 Mark II™是一種先進的基板加工工具,旨在為集成集成生產提供卓越的性能。其先進的ICP電場摻雜工藝可提高準確性和可重復性,有助於保持成本效益。該工具還配備了高級主室和副室,以及專有的3D自動模型界面,可為操作員提供過程的圖形表示。這使操作員能夠輕松設置變量並最大限度地提高性能,同時減少浪費,使其成為生產復雜集成電路的優越工具。
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