二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark ll #9186958 待售

AMAT P5000 Mark 11是一種高性能、經濟實惠、可靠的蝕刻反應器，用於制造半導體和其他光電應用的薄膜。對於廣泛的氧化物、氮化物和金屬蝕刻應用來說，它是一種行之有效且可靠的多合一溶液。可用於金屬、氧化物、氮化物和其他介電材料的圖樣化和無圖樣蝕刻。該機器完全自動化，具有先進的集成硬件和軟件，能夠實現高速蝕刻和高工藝產量。APPLIED MATERIALS P5000 Mark 11具有許多關鍵組件,包括射頻發生器、射頻和ICP蝕刻電纜、側載式晶片放置室、透明壓力系統和高級軟件套件。射頻發生器能夠在頻率上運行高達50kW的射頻功率200MHz。RF和ICP蝕刻電纜可實現額外的蝕刻控制和優化。側載式晶片放置室最大限度地提高了小、中、大批量晶片的吞吐量，同時確保晶片放置和取向一致。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark 11利用獨特的透明壓力系統（TPS）,該系統能夠在連續的單室環境中進行反應性和非反應性蝕刻過程,從而無需多室和晶圓的手動轉移。TPS還可以實現精確的壓力控制,以確保過程控制和可重復性。集成軟件套件包括基於Windows的圖形用戶界面，為用戶提供強大的性能、流程信息和可靠性。AMAT P5000 Mark 11是生產復合半導體、太陽能電池薄膜和MEMS等IC和光電子制造應用的理想選擇。它的高速、成本效益和可靠性使其成為金屬、氧化物和氮化物蝕刻的絕佳選擇。軟件套件為用戶提供了一整套用於監控蝕刻過程和優化過程結果的工具。