二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #186745 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP Reactor是一種先進的物理氣相沈積（PVD）室，設計用於半導體工業。AMAT P5000 MxP利用突破性技術提供卓越的沈積性能,最大限度地提高晶圓吞吐量,並以最小的人工幹預來控制過程。APPLICED MATERIALS P5000 MxP配備了一個強大的單一淋浴噴頭源，能夠同時向基板輸送多達六個獨立的物料源，同時繼續提供出色的工藝一致性。該腔室采用開放式裝載室設計，能夠容納各種基板、形狀和尺寸。此外，該腔室還裝有一個分體式升降機，可方便地將直徑不超過12英寸的基板升起。先進的P5000 MxP工藝控制設備保證了卓越的工藝控制和均勻性.利用它的多點等離子體控制，用戶能夠控制多達八個不同的氣源以維持精確的等離子體環境。此外,流程配方管理還可以方便地訪問、存儲或復制多達100種配方。AMAT/APPLICED MATERIALS P5000 MxP的每一個方面都是考慮到用戶的設計。例如，自動水沖洗系統不斷沖洗主工藝室，收集和清除顆粒和汙染物，以確保最佳性能和無顆粒晶片。AMAT P5000 MxP的精確過程控制還可以快速表征導體和電介質,以及精確優化沈積過程以提高產量。為了提高安全性和工藝性能,APPLIED MATERIALS P5000 MxP采用了先進的邊緣泄漏檢測裝置。這臺機器檢測和顯示從腔室邊緣等離子體泄漏提供了更大的安全裕度。總之,P5000 MxP提供了性能和過程控制的無與倫比的組合,並以可靠可靠的設計為後盾。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP通過其先進的淋浴源和快速配方管理相結合,為質量最高的晶圓提供了極好的速度和工藝一致性。