二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #293607187 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP是為高通量材料加工應用而設計的先進反應堆。AMAT P5000 MxP反應器能夠同時執行多個過程，包括蝕刻、沈積和快速熱處理。該反應堆可用於創建多層半導體器件，或替代現有效率較低的制造工藝。應用材料P5000 MxP是一種全金屬、金屬密封、單晶片加工室。它具有先進的保形屏蔽設備，設計用於處理大型基板尺寸的處理。模塊化設置使P5000 MxP能夠輕松集成到現有的制造線基礎架構中。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP反應器提供均勻的工藝室溫度和分布，即使使用大尺寸的基板。此外，AMAT P5000 MxP具有全自動熱壁溫度控制系統，可進一步提高工藝室內的溫度均勻性。APPLIED MATERIALS P5000 MxP提供了幾種高級過程控制功能。這包括實時流程監控和數據記錄,以及自動報告和文檔管理系統。這樣可確保高效的流程可重復性,並減少對手動流程的依賴。P5000 MxP還包括一個先進的多噴嘴電子束源輸送裝置。這提供了預編程，自動控制電容耦合等離子體源而無需操作員幹預。該機精確控制等離子體源功率，允許高通量、高產制造。自動晶圓處理和RobotArm工具交換工具允許將多個基材一次裝入AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP反應堆，並在處理運行期間交換。這樣可以減少過程時間,從而降低產品創建成本。此外,它還允許產品輸出的均勻性和更快的產品創建周轉時間。總體而言，AMAT P5000 MxP反應堆是一個單晶片加工室，具有先進的屏蔽、過程控制能力和自動晶片處理。該反應堆具有高通量、大規模制造的能力，被設計成集成在現有的生產線內。