二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #293816535 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP反應器是一種先進的沈積溶液，提供化學氣相沈積（CVD）和物理氣相沈積（PVD）過程。該設備采用高容量、低壓室，可實現更快的薄膜沈積和更好的控制。廣泛應用於半導體工業的器件制造，以及太陽能電池制造、MEMS/NEMS器件制造、濺射、離子束蝕刻等其他行業。該系統具有五個帶有兩個反應堆室的工藝吊艙。兩個腔室都連接到渦輪分子泵和集成質量流控制器。每個吊艙獨立運作，提供了同時運行各類流程和配方的靈活性。設備能夠在幾分鐘內快速從一個進程轉換為另一個進程。這有助於用戶優化其配方,以實現一致的高產量生產運行。AMAT P5000 MxP反應器的工藝室利用先進的電荷耦合器件（CCD）磁珠/導線進料機來確保在刀具的整個使用壽命期間進行準確和可重復的沈積。該資產還利用幹式清空管進料選項來創建一個清晰的幹式工作區。這兩種進料方式均經過了低顆粒、低真空和可洗滌以延長腔室部件壽命的測試。該模型的自動調諧控制器的設計是為了不斷地獲取腔室溫度和壓力讀數，以自動優化沈積配方。這有助於最大限度地提高吞吐量和可重復性。APPLIED MATERIALS P5000 MxP還具有集成的數據記錄器,該記錄器記錄設備數據並允許用戶隨時間跟蹤其系統的運行狀況。此單元數據是安全的,並存儲在加密的本地存儲卡上,從而確保數據的完整性和隱私。總之，P5000 MxP反應器是一種先進的沈積溶液，可提供化學氣相沈積（CVD）和物理氣相沈積（PVD）過程，並增加通量和重復性。這是CCD串珠/線送機，加上它的自動調諧控制器，允許良好的工藝效果和平穩的操作與最小的維護。加密本地存儲卡允許數據完整性和隱私。該工具廣泛用於半導體工業的器件制造，以及其他工業的類似應用。