二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #9116735 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+是一種最先進的陶瓷線圈式反應器,其設計目的是在一系列工藝應用中提供卓越的性能。AMAT P5000 MxP+的反應室由兩件式陶瓷塗層金屬鐘形罐形成。外部鐘形罐能夠承受高達1000 °C的溫度，而內部鐘形罐則能夠操作至1200 °C的最高溫度。內部鐘罩采用特氟龍蓋子，其設計目的是盡量減少顆粒汙染，使樣品易於進出內室。不銹鋼線圈作為反應器主體，而穿孔等離子體護罩設計為提供最大的等離子體限制和反應室的均勻加熱。在反應室內，APPLIED MATERIALS P5000 MxP+使用了各種高效過程的組合，包括低壓化學氣相沈積（LPCVD）和等離子體增強。這允許在高溫下對材料進行高度控制的生長、表征和加工。反應堆還配備了管理氣流的自動化設備，確保過程中使用的化學和其他蒸氣被安全地控制和降解。除了先進的化學氣相沈積工藝外，P5000 MxP+還提供專門的熱處理能力。反應室的溫度可以由操作員快速調節，也可以通過反應堆的數字控制系統自動調節。溫度高達1200 °C, AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+能夠處理各種材料和工藝。這些過程包括局部退火、金屬沈積和蝕刻過程。AMAT P5000 MxP+的最終特點是其多軸運動單元。這種運動機器的設計是為了提高樣品處理的精度，以及減少室內的熱梯度。運動工具利用三個自由度,能夠沿著三個軸旋轉、傾斜和擺動。這使得樣品的放置和操作比其他方式更詳細。綜上所述，APPLIED MATERIALS P5000 MxP+是一種最先進的陶瓷盤式反應堆，為高溫下的材料生長、表征和加工提供了多種高效的工藝。反應堆包括低壓化學氣相沈積和等離子體增強等專門能力，以及先進的熱處理技術和自動氣流管理資產。P5000 MxP+還利用多軸運動模型改進樣品放置和操作。
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