二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #9160366 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+
ID: 9160366
(3) Chamber systems.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+是一種用於大批量制造應用的高級生產反應堆。它具有獨特的模塊化設計,允許精確、分段地控制溫度和其他處理參數,以實現最大的生產輸出和過程可預測性。AMAT P5000 MxP+反應器是材料加工的首選工具,用於處理各種基材,包括裸矽和氧化矽塗層矽、藍寶石和各種玻璃。APPLICED MATERIALS P5000 MxP+是一種多區爐設備,具有為高質量通量和高熱容量運行而設計的腔室。它利用三種可獨立調節的組合來微調配方和工藝參數,如坡道上升和冷卻速度,並且能夠在生產運行期間收集實時數據。這允許過程的重復性和重復性,即使在不同的基材之間切換。反應堆配備了廣泛的工藝模塊,如大氣壓化學氣相沈積(APCVD)和低壓化學氣相沈積(LPCVD)。這種配置允許沈積過程具有靈活性,從而可以實現各種工藝目標。P5000 MxP+能夠處理大至7000個晶片的批量,可在極端壓力、溫度和真空條件下運行。該系統還提供多種安全功能,如應急電源關閉裝置和旨在降低火災和爆炸風險的降氧元件。它采用了先進的互鎖,以防止暴露於可能危險的元素,並且設計用於高通量、可靠的操作,即使在最苛刻的環境中也是如此。其他功能包括自動晶圓處理機、低排放環保設計以及支持多達10套配方。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+是一種高級生產反應堆,旨在在大批量制造應用中實現最佳性能。它專為處理各種流程而設計,包括APCVD和LPCVD,並提供精確的溫度和過程控制,以確保高質量的過程可重復性和可重復性。該工具結合了安全功能以降低暴露風險,並包括可處理大批量的自動晶圓處理資產。AMAT P5000 MxP+是一種可靠可靠的生產工具,非常適合多種材料處理應用。
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