二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #9202876 待售
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AMAT（應用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+是為高性能半導體制造工藝而設計的下一代反應堆。它是一種多室、多氣體、反應性離子蝕刻（RIE）設備，能夠在減少循環時間的情況下處理各種尺寸、形狀和材料的基板。AMAT P5000 MxP+能夠同時處理多個進程。這是通過一個高效的系統架構及其容納多達四個工藝室、氣體歧管和負載鎖的能力來實現的。此外,APPLIED MATERIALS P5000 MxP+還配備了自動晶圓傳輸單元和機械臂,能夠快速傳輸基板。P5000 MxP+旨在提供對過程參數的精確控制,允許用戶制造具有增強的過程魯棒性的復雜結構。它利用了廣泛的蝕刻和沈積過程，如深和淺反應性離子蝕刻（DRIE和SRIE）、化學氣相沈積（CVD）、熱化學氣相沈積（TCVD）、原子層沈積（ALD）和原子層蝕刻（ALE）。這允許為高性能微電子/納米電子設備定制結構和材料工程。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+配備了一系列先進的控制器和監控系統，包括過程控制和狀態監控器、氣流控制器、安全和腔室監控系統、真空監控器以及自動晶圓完整性監控器。這些功能使操作員能夠實時監視和調整流程參數,從而實現最佳的流程控制。此外,AMAT P5000 MxP+的高科技設計提高了機器的整體效率,包括減少了加熱和冷卻時間、改善了源壽命和工藝一致性。而且，該工具與幾個附件兼容，如等離子體傳感器、靜止和旋轉質量流控制器、溫度控制裝置、壓力表、真空系統和溫度控制元件。最後,APPLIED MATERIALS P5000 MxP+具有直觀的用戶界面,可實現快速、輕松的流程設置和編程。對於那些希望在半導體制造過程中采用先進工藝技術的公司來說，這使得資產成為一個理想的選擇。
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