二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9218919 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP是為等離子體蝕刻和沈積應用而設計的反應器。它具有靈活、寬間隙的射頻源和集成的法拉第屏蔽,允許在各種頻率、壓力和負載配置上運行。該裝置提供可獨立調節的氣體管線，用於精確控制蝕刻氣體和摻雜氣體，並采用集成真空泵送系統進行精確的腔室壓力控制。它還提供了一套全面的等離子體診斷，包括朗繆爾探測器、光發射光譜、在線晶圓映射和基於等離子體的源功率頻率光譜。公司提供所有必要的兼容性升級,包括計算機設備、現場維修和備件。AMAT P5000 MxP既適用於傳統的蝕刻和沈積過程，也適用於更先進的等離子體過程，如原子層沈積和離子註入。該單元靈活的配置使得能夠對各種材料進行蝕刻和沈積，包括氧化物、氮化物、電介質和金屬。其較大的腔室尺寸和空間均勻性使得APPLICED MATERIALS P5000 MxP適合多種工藝，包括高速率沈積和微調蝕刻操作。P5000 MxP被設計為一個交鑰匙過程系統，並且配備齊全的操作設備。它包括一個集成的任務處理器，處理自動化的工藝配方，設置和管理等離子體參數和晶片加載。此外,它還提供流程監控和診斷工具,以確保盡可能高的一致性和產量。等離子體電源可以調整到一系列頻率、壓力和簡單復雜的負載，有效覆蓋了廣泛的材料和加工配方。AMAT/APPLICED MATERIALS P5000 MxP的設計提供可靠的等離子體蝕刻和沈積性能,具有一致的長期過程穩定性和產率。由於設備配備了所有必要的附件、軟件和維護工具,因此可以輕松配置、維護和維修設備。此外，其集成的等離子體和晶圓測繪診斷技術確保了在大面積上盡可能高的產量和工藝均勻性。綜上所述，AMAT P5000 MxP是一種大容量工藝系統，設計用於與各種材料兼容的基於等離子體的蝕刻和沈積工藝。其強大的設計和集成的診斷技術使其成為涉及高速率沈積、微調蝕刻和原子層沈積的操作的理想選擇。