二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9218922 待售

AMAT（應用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP是一種最先進的等離子體反應器，設計用於在一系列半導體、顯示器、燃料電池和MEMS應用中提供高端等離子體處理。該反應堆的設計在生產和研究環境中都具有最大的靈活性和吞吐量。AMAT P5000 MxP能夠輸送由多種工藝氣體產生的等離子體，包括氫氣、氮氣和氧氣。它還提供750-1000 °C的最高溫度範圍,並提供包括脈沖和四區操作在內的溫度控制選項。此外，反應堆還配備了一系列診斷和樣品處理組件，可用於實時等離子體測量。反應堆具有專有的硬件和軟件系統，能夠提供高度可靠、可重復的過程。這包括精密沈積和蝕刻處理、快速熱處理、快速原型設計以及精密掩模對準和調整。控制體系結構具有原位傳感器反饋控制、超高速氣體混合、實時光譜分析等特點。APPLIED MATERIALS P5000 MxP提供了許多自動化的過程功能，包括自動腔室清洗、晶片裝卸和多配方執行。該反應堆還為過程監測和結果報告提供了擴展的數據收集能力。此外,該工具的設計具有很高的可重復性,對部件和組件的維護較低,便於維修和減少停機時間。綜上所述，P5000 MxP是一種功能強大且用途廣泛的反應堆，專為滿足最新的等離子體處理需求而設計。它提供了一系列自動化的流程功能以及功能強大的硬件和軟件系統,使用戶能夠在最短的停機時間內實現可重復、可靠的流程。