二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9226621 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP是一種金屬陣列反應器，設計用於半導體器件制造的光刻工藝。該反應器利用等離子體蝕刻和沈積系統的最新創新，在生產高長寬比和均勻金屬結構方面取得了優異的效果。反應堆提供了兩種電感耦合等離子體（ICP）和電容耦合等離子體（CCP）等離子體源類型的選擇,使用戶能夠為其特定應用選擇最佳蝕刻工藝。它還使用了鈦升華源，能夠對結構化分層硬面膜進行蝕刻。AMAT P5000 MxP的特點是獲得了RF匹配技術的專利,以提供最佳的等離子體過程控制和可重復性。反應堆還配備了先進的等離子體均勻性和端點檢測能力，以增強工藝窗口，並實現精確和可重復的結果。反應堆的Innovative Reticle Kit還允許用戶利用不同的面罩尺寸、形狀和線寬，以及利用盲人的氛圍、溝槽、平整特征等特征。反應堆的先進功能包括確保精確接觸模式和蝕刻深度的化學機械拋光（CMP）能力、自動標線傳輸系統和確保均勻氣體輸送的氣體聚合系統。反應堆還配備了其他人性化功能，包括簡單的用戶界面和圖形色彩顯示，以確保其使用簡單、直觀、高效。總之，應用材料P5000 MxP是一種最先進的生產反應堆，其設計目的是在復雜結構的生產中提供激光銳利的性能。它結合了先進的等離子體源、過程控制和均勻性功能以及用戶友好的功能,使其成為設備制造的通用、經濟高效的解決方案。