二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 TEOS #293824836 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 TEOS是一種最先進的高通量反應堆設備,用於生產各種用途的薄膜。該系統設計用於包括矽、二氧化矽、金屬氮化物、金屬氧化物和其他介電材料在內的材料的切片、蝕刻和沈積應用。AMAT P5000 TEOS配備了電子回旋共振（ECR）等離子體源、定向等離子體輔助蝕刻和直接液體註入（DLI）技術。ECR等離子體源被用於創造一個高度電離的等離子體環境，具有廣泛的等離子體參數。定向等離子體輔助蝕刻用於對被加工基板表面的材料進行精確蝕刻。這允許對薄膜進行精確蝕刻和高速率沈積。DLI技術是化學氣相沈積（CVD）的一種變體，用於快速沈積厚度、組成和結構均勻的薄膜。該單元具有模塊化的腔室設計，可與一系列其他腔室配置結合用於特定應用。它利用先進的機器人運動和晶圓傳輸機器，以確保高吞吐量和盡量減少人工幹預和錯誤。該工具還配備了精密的溫度控制和監測系統。總體而言，應用材料P5000 TEOS是一種多用途、高通量和先進的反應堆資產，設計用於薄膜沈積和蝕刻。具有精密蝕刻、高速率沈積和均勻薄膜的性能.先進的控制系統和自動化的過程控制確保了優秀的薄膜能夠以可重復和可靠的結果得到發展。
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