二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #101854 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是半導體工業中用來創建集成電路的半導體加工工具。AMAT P-5000是一種具有四區法的熱氧化反應器，允許均勻一致的加工。這臺設備使用石英管作為反應室，最高可達1500 °C。這些控制允許對溫度、壓力和其他參數進行微調，以產生精確的氧化表面。該系統由四個區域組成,包括預熱、氧化、冷卻和晶圓清理。預熱區由兩個用來提高晶圓溫度的加熱器組成。溫度用熱電偶監測，用溫度控制器管理，確保溫度準確。氧化區使用反應室進行氧化過程。腔室使用石英管、兩級擴散泵、氧化劑和/或還原劑的強制流動以及微波等離子體源的組合。這種組合產生精確的氧化表面。冷卻區用於將晶圓的溫度降低到安全水平。這是通過使用氣體清除裝置和位於室內的散熱器來完成的。晶圓清理區用於清潔和拋光晶圓的氧化表面。這是用熱板和化學清理工藝完成的。APPLICED MATERIALS P 5000機高度可定制,具有多種特點,如：雙區域溫度控制、用於裁剪材料沈積的微波,以及提高生產率的各種其他便利設施。該工具非常適合用於先進的半導體研究和生產。APPLIED MATERIALS P-5000能夠產生高度精確、均勻和可重復的結果,是半導體行業必不可少的工具。