二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #115356 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種全自動300 mm單晶圓反應器，提供精確的低壓化學氣相沈積（CVD）技術。該工具由幾個組件和子單元組成，包括一個環境室、一個加工室、一個轉移室和一個爐。環境室是該反應堆的主要部件之一。用HEPA空氣過濾器密封，確保反應堆內部環境清潔。該室裝有一個高速機械臂，然後用來將晶片往返於傳輸室，以及提供晶片方向的精確控制。工藝室是化學氣相沈積（CVD）工藝發生的地方。這個腔室裝有兩個CVD反應堆，利用高溫和精確的低壓將一層薄薄的材料沈積到晶圓上。可以精確控制工藝室內的溫度，確保整個晶片均勻沈積。轉移室是一個大的真空密封室，裏面裝有將晶片從環境室移動到加工室的轉移機器人。該腔室旨在確保晶片在轉移過程中保持安全且無汙染。該爐是一種高溫烤箱，用於在CVD工藝前後烘烤晶片。這種加熱的烤箱有助於提高晶圓上沈積材料的附著力，也有助於均勻沈積。AMAT P-5000還具有先進的計算機監測系統，可對沈積過程中的電流參數和溫度進行精確控制和監測。這種計算機監控系統還允許用戶存儲和檢索食譜，以及監控內部和外部溫度。總體而言，應用材料P 5000反應器的設計目的是在沈積均勻、重量均勻的晶片上對材料進行精確的低壓化學氣相沈積。該工具配備了幾種不同的部件，包括一個環境室、一個工藝室、一個轉移室和一個熔爐，這些部件共同工作，以確保清潔、無汙染的環境，實現清潔、精確的沈積。