二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #131577 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種先進的PECVD反應器，設計用於將薄膜圖樣沈積到基板上。該設備可精確、可靠地再現圖案化薄膜，用於薄膜晶體管（TFT）顯示器和MEMS（微機電系統）等多種應用。AMAT P-5000是單晶圓處理器,非常適合高產量生產和快速循環速率。APPLICED MATERIALS P 5000 PECVD反應堆裝有九個腔室，每個腔室每小時最多可處理200個工序。矽氧化物、氮化物和a-Si： H用於薄膜晶體管的沈積有三個腔室。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000還包括三個特殊沈積室，如氮化矽和氧化矽-氮化矽（SiON）。腔室布置為同時沈積多種材料提供了有效的解決方案。PECVD反應堆中使用P-5000化學品是根據具體應用量身定制的，並存放在特殊的化學儲層中。該工藝室能夠控制和維持高達425°C的溫度，從而能夠微調沈積厚度和形成納米級特征。APPLIED MATERIALS P5000利用了多種不同的氣體，如氮氣、氯氣和氫氣，從而可以沈積汙染最小的薄膜結構。AMAT P5000還包括各種安全功能和自動化維護功能,以確保安全高效的操作,並減少流程停機時間。實施了先進的流量控制系統，以確保化學品的準確輸送，從而實現穩定、優質的晶圓生產。此外，該單元還配備了全自動化的車載校準和測試單元，可用於確保所有工藝步驟的完整性。P5000 PECVD反應器是一種用途廣泛、可靠的可靠沈積模式膜結構的工具。利用經過驗證的技術，該裝置可用於高精度地沈積各種材料，以最短的加工時間提供優越的薄膜結構。機器強大的設計、自動化功能和安全系統使其成為晶圓處理的理想選擇。