二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #152721 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種為高生產率半導體器件制造而設計的全自動反應堆設備。它能夠沈積、蝕刻和清洗集成電路生產中所需的所有材料。該系統結合了先進的工藝控制、先進的基板處理和監控功能。AMAT P-5000采用了由沈積源、負載鎖、中央工藝室和維護室組成的模塊化體系結構。沈積源包含化學源、渦輪分子泵和升華加熱器，而中央工藝室則有真空泵、氣體分配系統以及沈積和蝕刻過程所需的其他組件。為了進行化學機械平面化，APPLIED MATERIALS P 5000包括一個CMP站，帶有一個化學輸送單元和一組旋轉墊子。載荷鎖有兩扇門，用於從外部環境中轉移基板，設計目的是盡量減少顆粒的引入。這臺機器能夠處理直徑在4到12英寸之間的基板。該工具包括一套強大的制造半導體器件的工藝能力。矽、鈦和鎢上的介電沈積得到高速率離子輔助沈積技術的支持。金屬和介電層的蝕刻是通過磁控管濺射蝕刻、感應耦合等離子體蝕刻和物理濺射實現的。APPLIED MATERIALS P-5000還支持散射、退火和焊接等熱過程。開發該資產的重點是高生產率和可重復性，使其成為大規模生產工作的理想之選。它通過集成復雜的過程控制算法、易於使用的用戶界面、自動故障排除和可追蹤性來實現這些目標。此外,P 5000可以輕松地與許多現有工廠自動化系統集成,使其成為大規模生產環境中可行的解決方案。APPLIED MATERIALS P 5000具有廣泛的工藝能力、易用性、高吞吐量以及集成到許多現有生產設施中的能力,使其成為設備制造的寶貴工具。它為快速高效生產高質量的半導體器件提供了條件。