二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #159341 待售

ID: 159341
Frame, as pictured Missing parts Stored in a cleanroom.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種用於薄膜沈積過程的沈積反應器。它利用具有不同類型氣體的多種來源,例如氙氣和氮氣,形成沈積在基板上的薄膜層。設備有一個可變溫度室,允許基板加熱至高達750°C的溫度。此外,它還包含一個石英晶體監測儀,用於測量薄膜沈積過程。AMAT P-5000可用於各種應用,因為它可用於生產各種材料上的薄膜層,如氧化物、氮化物和金屬。可用於制造厚度從亞微米到數百納米不等的薄膜。APPLICED MATERIALS P 5000還允許對沈積過程進行精確控制,允許用戶獲得高均勻性和質量的薄膜。該系統最多可容納四個源,每個源能夠提供不同類型的氣體。為確保均勻性,APPLIED MATERIALS P5000利用計算機對每個源的引腳控制,允許用戶調整從每個源流出的氣體並監控薄膜沈積過程。源可以使用電阻裝置加熱,使用戶可以微調基板的溫度。該單元還提供了一系列安全功能,如可檢測泄漏或熱失控的自動采樣機。它還提供雙電磁互鎖,設計用於在發生電源故障或緊急停止時提供保護。此外,它還具有一系列警報和關閉系統,旨在確保流程的安全運行。總而言之,AMAT P 5000是生產各種底物薄膜的理想沈積反應器。它提供了從安全措施到精確溫度控制的一系列功能,使其成為各種商業和工業應用的寶貴工具。
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