二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #159344 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應器是為半導體材料的蝕刻和沈積而設計的工具。它常用於集成電路、薄膜和其他各種光電器件的制造。AMAT P-5000能夠在低溫和高溫以及高達10-3至10-5 mbar的壓力下運行。也可用於快速熱處理（RTP）和快速熱退火（RTA）。APPLICED MATERIALS P 5000的基本腔室由一根由其射頻感應線圈加熱至最高850C的9英寸石英管和上面的石英圓頂組成。反應堆的堆芯是一種氣體分配設備，以均勻的方式分配蝕刻或沈積氣體。有兩個外部氣體入口可以獨立控制石英管或石英穹頂。AMAT P5000也有一個內置的質量流量控制器（MFC）來精確控制氣體的流量。基板支撐是AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000的組成部分，其中包括一個可調節的架子和一個6點電接觸系統。這樣可以確保樣品表面的溫度均勻。植入物鎖定裝置也集成在裝置頂部，允許使用者將基板放置在各自的位置進行蝕刻和沈積。應用材料P5000由AMAT專用可編程邏輯控制器（PLC）控制.這提供了高度的可重復性和準確性。它還與基板和工藝監控系統集成在一起，允許用戶實時監控其工藝參數。診斷軟件還允許用戶遠程訪問數據、查看性能圖、故障排除和修改計算機設置。最後,AMAT P 5000還提供了可為滿足客戶需求而定制的其他配置和功能。選項包括各種類型的加熱、冷卻和氣體混合系統，以及額外的材料輸入、傳感器和過程監控。總而言之，P 5000是半導體和光電工業蝕刻和沈積過程中必不可少的可靠工具。
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