二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #188548 待售

AMAT（應用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是專門為先進制造工藝而設計的一種惡劣環境單晶圓反應器。這種先進的加工設備提供極端的溫度和壓力控制，允許用戶在高壓和低壓環境中精確定位沈積和蝕刻過程。AMAT P-5000的溫度範圍從350攝氏度到2000攝氏度，壓力範圍從1 Torr到幾百Torr，允許加工多晶矽、氧化物、氮化物、金屬、合金等多種材料。APPLIED MATERIALS P 5000反應堆配備了幾種有助於精確加工的技術，包括擴散屏障、離子源和塗層排氣板。擴散屏障由Inconel和Hastelloy制成，使它們能夠抵抗熱沖擊、腐蝕和氧化，並有助於防止室內氣體的混合。AMAT P5000中使用的離子源被設計為產生各種類型的離子，無論是相片、氫化物、脈沖、熱或空心陰極，取決於需要加工的材料。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000上的排氣板塗有SiC材料，以防止與底物材料發生反面反應，有助於減少反應器室內的汙染，保護加工材料的質量。APPLIED MATERIALS P5000還具有廣泛的高級自動化功能,包括晶圓處理系統、自動校準以及配方文件的存儲和控制。晶圓遞送系統允許用戶將晶圓精確地移入和移出工藝室。自動校準過程可以減少運行時周期並優化過程精度。最後,配方文件可存儲多達250個配方,提供一致的可重復性,並允許用戶快速恢復中斷的流程。總體而言,P5000為各種材料類型提供了高精度的控制和處理功能。自動化校準、手動和高度精確的晶圓處理等先進功能,以及廣泛的溫度和壓力範圍,使P-5000成為先進制造工藝的理想反應堆。