二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #190251 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
已售出
ID: 190251
晶圓大小: 5"
TEOS CVD systems, 5", warehoused.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一種革命性的設備,旨在幫助半導體制造過程。它是一個20 kW的等離子體系統,設計用於高達405 mm的基材尺寸,能夠提供一系列的高密度等離子體工藝。它具有高度的自動化,具有集成的控制和用戶界面,使操作更加簡單和高效。該單元包括四個主要組成部分:等離子體室、放電室、電子控制和電源。等離子體腔采用高檔鋁制成,底部隔熱層最大限度地減少傳熱。其形狀為均勻的等離子體密度和分布而設計,提供了更高的精度和可重復性。放電室設計有單面氣體入口,以降低操作復雜性,提高生長/沈積速率的均勻性。AMAT P-5000先進的功率轉換器為線圈提供充分、均勻的功率,提供準確、可重復的結果,確保基板溫度得到良好控制。該機還具有高性能控制層,具有用戶友好的操作員界面和控制邏輯,使操作員能夠快速準確地編程配方、參數和過程。APPLICED MATERIALS P 5000反應器在半導體加工中提供優異的性能、生產率和可重復性。其高效的功率傳遞和均勻的等離子體分配有助於確保一致的結果。先進的用戶界面使操作簡單高效,一致的結果既節省了成本,又提高了質量。應用材料P5000是半導體制造的理想解決方案。
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