二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #191829 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是半導體工業中使用的一種可靠且用途廣泛的反應堆。AMAT P-5000是一種垂直的單晶圓熱處理設備，具有較大的處理面積。反應堆由高度專業化的真空系統和氣體輸送單元、溫控工藝室、強大的晶圓處理機組成。APPLICED MATERIALS P 5000的真空工具旨在減少顆粒數量，確保清潔環境。它由一個對流真空資產、渦輪分子泵、閘門和特種閥以及一組過濾器組成，以維持低汙染水平。真空模型具有提取不需要的顆粒和保持工藝室內清潔氣氛的功能。P-5000的氣體輸送設備采用主動-背面擁有成本（CO2）後立管歧管和低功率、熱效率噴嘴。CO2後立管有助於管理氣體直接輸送到晶圓表面。低功率、熱效率的噴嘴設計用於減少工藝室內的氣泡形成，確保工藝過程的準確性和可重復性。該工藝室配有溫度控制元件，以確保精確的溫度調節。它還有一個先進的氮氣/氙氣凈化系統，以維持低氣壓。反應堆有能力處理多達4英寸（10厘米）的晶圓。P 5000的晶圓處理單元由3向機器人裝卸、盒式到盒式超聲波清洗、非接觸式大氣轉換機組成。機器人裝卸工具是為高效、可重復地處理多個晶片而不接觸加工室而設計的。盒式到盒式超聲波清洗資產采用低頻、低壓清洗的方式清洗和檢查晶片，提高產量，提高重復性。AMAT P5000是一種高效、可靠且用途廣泛的半導體工業反應堆。它提供高效的熱工程、先進的氣體輸送能力、精確的溫度控制和精確的循環時間管理。應用材料P5000確保可重復處理、清潔真空環境和高效輸送反應性氣體。