二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293586392 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種高溫熱處理工具，用於制造先進材料，如矽基器件、金屬和半導體。這種工具是半導體制造過程中必不可少的一部分，允許生產功能非常小的集成電路。AMAT P-5000反應堆利用垂直冷壁對置等離子體反應堆向晶片提供高劑量的磷氣，能夠維持高達850 °C的溫度。該工具的高溫使其能夠用於擴散、氧化、氮化等先進過程，以及各種材料的沈積，如電介質和金屬。此外，該工具可用於濺射沈積，產生更高質量的薄膜和材料。APPLICED MATERIALS P 5000配備專用CoolPlasma™源,可增強沈積過程,提高薄膜生長速度和均勻性,提高每晶片的通量和層數。此外，反應器具有一個獨立的氣體箱，允許不同成分的柔性共沈積，同時保護主加工室。該工具集成了溫度控制系統,可提供精確的處理溫度、更大的均勻性以及改進對關鍵過程的溫度控制。多年來開發了廣泛的先進工藝技術，使得該工具可用於等離子體增強化學氣相沈積、原子層沈積和金屬有機化學氣相沈積等一系列應用。P 5000反應堆具有一系列先進的特性和技術，使其成為應用和生產先進材料的最先進的熱處理工具之一。其先進的等離子體源、溫度控制系統和靈活性為用戶提供了制造多種元件的準確可靠的工具。