二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293587249 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是為先進半導體制造而設計的多站平臺濺射反應器。它是AMAT系列反應堆的一部分，主要用於先進半導體器件的薄膜沈積。AMAT P-5000是一個具有一系列膜沈積過程的單室系統.它具有濺射沈積、蒸發和電子束蒸發的能力。應用材料P 5000可用於其他服務，包括化學氣相沈積和離子註入。使用AMAT P 5000可以加工各種底物，包括矽、​​和砷化移銨。它有一個55厘米中央旋轉炮塔和配備多達四個濺射陰極和兩個蒸發源。P5000裝有鎖載室和基板處理設備,以便安全高效地將基板從晶圓車或裝有盒式磁帶的處理程序吊艙轉移到加工室。AMAT P5000的圓柱形設計提供了薄膜厚度在整個晶片表面的均勻分布。其工藝配方設計為多層沈積，可達到厚度小於0.1微米的層。P 5000能夠生產平面均勻度為+/-2nm、總厚度均勻度為+/-1.5nm、線寬均勻度為+/-1nm的薄膜。APPLICED MATERIALS P-5000可與主動磁控濺射沈積（AMS）或光學後處理（OPT）等高級工藝控制方法配合使用。此外,APPLIED MATERIALS P5000還配備了一套符合當今操作人員安全最高標準的強大安全功能。其綜合安全系統是按照目前的ANSI/SEMI Standard NFPA 79設計的，所有安全部件都是為高可靠性而設計的，在緊急情況下有各種級別的手動和自動覆蓋。最後，AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000多站平臺濺射反應器是一種先進可靠的薄膜生產沈積系統。它用途廣泛，涵蓋了廣泛的沈積過程，其工藝配方使薄膜的沈積厚度超過0.1微米。此外，其強大的安全特性使其成為當今最可靠、最安全的沈積系統之一。