二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293587332 待售

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS P5000系列是一種經濟、通用、低成本的間歇沈積反應器,用於利用蒸發、濺射和/或等離子體源在基板上制造保形、均勻且無針孔的薄膜塗層。AMAT P-5000系列設計用於半導體和/或納米加工規模生產微電子、光電、MEMS、功率裝置等應用。APPLICED MATERIALS P 5000系列在其操作範圍內具有很高的可重復性、可靠性和穩定性,采用簡化的模塊化方法,在滿足該範圍內的各種要求的同時,更易於調整和多功能性。P-5000采用先進的連續流式反應器設計，用戶即使在難以覆蓋的結構和基板上也能達到均勻性和覆蓋率。反應堆裝有可變速率脈沖電源，使用戶可以密切監測沈積速率。AMAT P5000系列的設計目的是提供較低的總擁有成本,即使它具有高功率的能力,並且減少了對昂貴的備件和維護的需求。APPLIED MATERIALS P5000系列作為批量沈積工藝的一種經濟解決方案，具有真空隔離防汙濾清器等特點，可用於防止副產品汙染。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000系列依靠單泵或雙泵兩級擴散泵送系統和低溫冷卻操作來實現超低壓力（<1 x 10-7 Torr）和有效的溫度控制，以最大程度地減少熱對薄膜性能的影響。該反應堆設計用於支持溫度從室溫到高於500 °C的過程。為提高用戶靈活性,APPLIED MATERIALS P-5000系列為目標厚度、均勻性和可重復性提供了四個控制參數：功率水平、沈積速率、薄膜厚度和時間步長。該設備還具有多個工藝傳感器，可與大型數據采集系統結合使用。AMAT P 5000系列包括直觀的用戶界面，允許遠程操作，知識淵博的人員可以有效地管理沈積，而無需經常動手調整系統。今後的更新和升級也可供需要進一步定制的人使用。該系統的使用壽命很長。