二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293587974 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一種半導體加工工具，用於將各種材料的薄層沈積到基板上。該反應堆的設計目的是提供精確的過程控制，以及在每一個基板層上一致的均勻性。這是通過結合先進的氣體輸送系統和可獨立操作的多個腔室來實現的。AMAT P-5000工藝室是反應堆的主要部分，為圓柱形室，直徑12英寸，高度16英寸。該腔室由不銹鋼構成，具有超過10-9 Torr的高真空能力。在腔室內部，基板安裝在支架上，一對熱電極在腔室頂部成角度。基板加熱是通過使用溫度範圍高達1000 °C的熱碳化矽（SiC）加熱器實現的。基板架與熱電極連接到基座電源，可進行精確的溫度控制，並提供穩定的溫度範圍。APPLIED MATERIALS P 5000包括一個氣體輸送系統（GDS），由三個可控氣體閥和三個氣體管路組成。GDS允許氣體以預定的速率和濃度註入腔室。這些氣體用於制造各種工藝化學物質，具體取決於所沈積的材料。然後，氣體通過通風管從腔室排出，從而能夠精確控制腔室大氣。P 5000還包括另外兩個加工室，通常被稱為「淋浴頭」和「大馬士革」室。淋浴室用於在基板表面沈積薄層材料。大馬士革腔室用於用多種材料和化合物對底物進行圖樣化，從而形成特定的圖樣。為了確保所有基板和腔室的沈積過程參數一致，P-5000還收集了詳盡的儀器。這包括壓力表、質量流量計、溫度傳感器和橢圓儀。所有這些組件用於監測工藝條件，並根據需要調整腔室氣氛和操作參數。總體而言，P5000反應堆是一種高度先進和精確的半導體加工工具，它提供了卓越的過程控制和跨基板的均勻性。它非常適合在具有特定圖樣的復雜基板上制造極薄的層，能夠處理各種材料組合和工藝化學。
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