二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293594304 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種先進的半導體器件加工設備，用於各種工業應用。反應堆使用可展開的工藝室，以便為孤立環境中的材料提供溫度環境。這就不需要一個昂貴和潛在危險的真空系統。AMAT P-5000反應堆是一種設計用於處理多種不同類型材料的高溫處理裝置。它配備了一個使用先進的環境控制來維持溫度和生長環境的三重爐機床。每個爐用石英鹵素燈加熱，並配有采用高溫二矽化鉬技術建造的熱板插件。應用過程以石英工藝室初始化，其中材料暴露於等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）。這種沈積工藝旨在將薄膜層沈積到多晶矽上。這一工藝已被用於生產半導體、顯示器件和其他需要高溫環境的材料。APPLICED MATERIALS P 5000的石英腔室可處理高達2000瓦的感應耦合等離子體（ICP）源,使其具有實現深矽亞微米級等過程的獨特能力。APPLIED MATERIALS P5000的靈活性和多區功能允許在腔室內的不同區域執行不同的過程。這允許用戶控制每個區域內的過程時間、氣流和溫度,以參數化多個預編程配置文件。該工具的模塊化體系結構也可配置為同時運行多個進程。該資產由6.5英寸液晶顯示屏供電,並帶有圖形用戶界面（GUI）,允許用戶自定義流程。高度可靠的界面允許靈活性和可移植性，允許用戶根據需要調整處理參數。Applied Material AMAT/APPLED MATERIALS P 5000是一種高端、可靠且用途廣泛的設備處理模型,可為用戶提供多種處理功能。該設備是為眾多工業應用而設計的，這些應用需要對溫度最高可達2000°C的基板進行可靠的加工。該系統的三爐、熱板插件和簡單的GUI可為用戶提供對過程流、溫度和氣流的全面控制。
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