二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293594313 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種用於半導體制造的單晶圓反應器。該反應器用於化學機械拋光（CMP）、氧化、氮化以及金屬和絕緣材料的沈積等多種應用。其多才多藝的設計使其成為生產最新高性能集成電路的理想工具。AMAT P-5000反應堆采用流式工藝，能夠精確、一致地控制反應室內的環境。這種流動過程還允許嚴格控制不同過程中使用的氣體混合物。反應室配有多個反應性等離子體源以及先進的晶圓傳輸系統。APPLIED MATERIALS P 5000反應堆提供了許多功能,使其能夠提供卓越的性能。它具有覆蓋整個晶片的巨大統一性，確保該過程產生所需的結果。集成的CMP系統支持多種技術，如漿料、固定磨料和化學機械平面化（CMP），以實現整個晶圓的優越平面化。該平臺還有一個高精度的機械臂，可確保精確和可重復的晶片處理和處理，使晶片能夠精確地放置在反應室內，並能夠優化關鍵應用的結果。它具有自動化的配方管理,以實現跨流程的一致可重復性,並且能夠處理多個流程變量。應用材料P-5000反應堆還提供了超高溫變化和監控，以便在加工過程中保持精確的控制。它還提供了增強的反應性氣體控制，確保反應中只使用所需的氣體。最後，反應堆還支持先進的配方，允許它在具有挑戰性和復雜的過程中使用。綜上所述，APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一種高度復雜和通用的工具，非常適合各種半導體制造工藝。它具有先進的均勻性和可重復性，實現了精確的過程控制。其溫度變化性、精確的反應性氣體控制、自動化配方管理等先進特點，提供了卓越的質量和生產力。
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