二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293594320 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種生產規模反應堆，旨在提供高度一致和可重復的制造環境，以處理各種材料。它的特點，包括一個200 mm的腔室具有五晶片批量加載能力，使它成為一個有吸引力的選擇半導體工藝控制。它的構造包括一個光學窗組件，裏面裝有一個連接到200毫米腔室的大而扁平的石英窗。這個窗口允許更好的光學分析，並提供了一種在加工前後檢查工藝晶片的手段。此外，AMAT P-5000有一個集成的溫度控制模塊。這一模塊采用了crucible、filament和wafer溫度監測的組合，以及工藝一致性的精確加熱器控制。溫度控制模塊也可用於控制和維持反應堆室的溫度。在APPLIED MATERIALS P 5000上增加的動力傳動系允許對許多過程參數進行精確控制，如壓力、粒徑、流量和混合。它還結合了一個電阻加熱元件，向反應堆室提供精確和可重復的熱輸入，以及一個可編程的發電站，方便晶片的裝卸。P-5000利用氦氣凈化系統在反應堆室內保持清潔、無汙染物的環境。其計算機控制的循環系統既防止晶圓汙染，也防止晶圓表面形成「陰影」。為了提高清潔度，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000可以用真空裝入上遊控制器和洗滌器。AMAT P5000的定位器使用一個運動任務程序和一個運動處理器單元，以允許晶圓的精確和可重復的定位。該定位器還與光學窗口組件的晶圓觀察端口配合使用，以進一步進行光學分析。應用材料P-5000反應堆是一個用途極為廣泛的系統，能夠在可靠、可重復的環境中執行各種過程。它的可重復操作，加上其環境控制和定位器，使得它成為半導體工業中器件制造的線性和非線性縮放的可行選擇。