二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293600406 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種最先進的熱處理反應器，用於生產過程，如化學氣相沈積（CVD）和物理氣相沈積（PVD）。它提供了沿基板表面溫度的最高均勻性和可控性，過程動力學高達400°C/min，用於快速基板循環。該裝置在一個自動化的水力混合軸運動平臺上運行，具有專有的噴嘴設計，允許一致和均勻的工藝結果。AMAT P-5000是一個強大的系統，包括一個控制箱，真空室，和兩個負載鎖，以及一個機械傳遞臂。它提供了多種工藝腔室，包括高溫SiC腔室、超低壓腔室和半高壓腔室。這些腔室提供了在同一生產周期中在單個晶片上執行多個過程的能力。此外，該系統的設計是模塊化的，可以進行各種升級，例如增加房間和現場清潔。APPLIED MATERIALS P 5000具有先進的控制技術,允許對溫度、壓力和氣流等參數進行精確的過程控制。數位過程控制可在反應器室一級使用，也可通過觸摸板操作員遠程使用。這種先進的控制技術確保了嚴格的過程控制,實現了可重復性和高產率,且可變性最小。集成配方系統提供了快速配方創建、使用和轉移的程序步驟的能力。P5000為小批量生產和大批量生產提供了靈活性。它易於安裝和維護,改善了維護周轉,並減少了成本高昂的停機時間。先進的安全功能，包括操作員面板護板，使人員在操作過程中遠離機器。AMAT P 5000是一款提供高品質、重復性和靈活性的理想生產工具。它能夠生產各種復雜的產品，從顯示器和光伏到微電子。APPLIED MATERIALS P5000提供了性能和一致性的獨特組合,使其成為任何大批量制造過程的理想選擇。
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