二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293603569 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種用於半導體制造的原位等離子體加工設備,為各種基於等離子體的材料加工功能提供了平臺。該系統包括多種獨特的特點，包括全金屬真空室、加熱基板支架和自動晶圓傳輸單元。AMAT P-5000在廣泛的工藝參數下運行,可以精確控制材料表面的影響。它能夠處理多種氣體，例如氧氣、氙氣和氮氣。機器的等離子體源是微波驅動的2.45 GHz磁控管，由多級射頻電源控制。它被設計為支持高密度等離子體工藝，使其能夠執行多種任務，如沈積薄膜、蝕刻表面、碳化基板等。APPLICED MATERIALS P 5000的真空室采用全金屬機身，以確保最佳的熱均勻性和耐等離子體侵蝕的合金。該室還設有一個雙真空閥工具，在低工藝壓力下提供全排空，以及一個無墊片窗口，以便觀察基板加工。簡化的鎖載室設有一觸式裝卸功能，便於將樣品從潔凈室轉移到AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000。AMAT P 5000能夠保持高達350°C的溫度和450 torr的最大壓力。它配備了一個高性能的基板支架，使樣品表面的精確和均勻加熱到+/-3 °C以內。一系列的感光器和提升的基板與基板支架兼容，以便能夠處理各種樣本量和形狀。晶圓傳輸資產被設計為符合人體工程學和用戶友好，自動化的程序代碼控制流程的每個階段。AMAT P5000還配備了先進的控制模型，讓用戶能夠準確控制自己流程的參數。這包括跟蹤和監視過程的溫度、壓力和氣流的能力，以及設置警報限制和日誌過程參數。這使得APPLIED MATERIALS P-5000一個功能強大的工具,用於優化流程和生成可重復且一致的結果。
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