二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293606183 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種多室沈積反應器，設計用於將薄膜沈積在多種基板上，從而能夠生產各種電子、光學和其他先進材料。AMAT P-5000已被半導體鑄造廠、平板顯示器生產商以及太陽能電池和存儲設備制造商用於ALD、PVD和PECVD等工藝。APPLIED MATERIALS P 5000是一種化學氣相沈積反應器，旨在提高制造速度和降低擁有成本，同時提供一致的工藝性能。它能夠對多達四個腔室進行高速率腔室切換和模塊化並行處理，並具有高效的傳熱和排氣系統。P5000具有高效的溫度控制系統，有助於減少循環時間和基板加熱時間，從第一個腔室到最後一個腔室。它還配備了模塊化的過程控制系統，允許用戶獨立控制每個腔室，以獲得更一致、可重復的過程參數。AMAT P5000還能夠在一個腔室中執行多個過程,從而實現高吞吐量並減少在腔室之間傳輸晶圓所花費的時間。APPLICED MATERIALS P-5000支持廣泛的工藝選項,並配備了自動腔室配置和運行結束通信,使其適用於介電、屏障和蝕刻工藝等多種應用。它的自我診斷能力可以通過其機載維護和流程編程來訪問，這使得故障排除和對故障或流程異常的快速反應變得容易。APPLIED MATERIALS P5000可以配備各種源類型，如射頻、高頻、直流電濺射，以及冷熱原子束源。它還能夠進行遠程維護,從而簡化了流程和維護工程師的溝通和幫助。最重要的是，它配有種類繁多的配件，包括提供增強均勻性的移動源，以及提供改進保護的鈦源頭。總體而言，AMAT P 5000反應堆提供了高均勻性和過程重復性，使生產各種電子、光學和其他先進材料的速度快、成本低。其過程控制系統使其適合廣泛的應用，其遠程維護能力有助於簡化故障排除和維護操作。