二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293609012 待售
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已售出
ID: 293609012
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Etcher, 8"
(3) Mark II Etch chambers: Resin/Arc, Oxide, Nitride, Silicon
ENI OEM-12B Generator
ESC Chuck
Remote frame
Does not include chiller
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種高性能的直流二極管濺射和離子輔助沈積技術精密工藝反應器系統。這種多用途反應器的設計使用戶能夠結合濺射和離子輔助沈積的優點,采用最佳沈積技術進行應用。AMAT P-5000專為制造用於電子、光學、半導體、微電子、MEMS、生物醫學等多個領域的薄膜表面和元件而設計。APPLIED MATERIALS P 5000的核心是先進的微處理器控制直流二極管電源,用於精確、一致、可重復的操作。電源能夠提供多達20kW的電源。它提供了廣泛的目標、底物和加工氣體,以滿足不同的要求。應用材料P-5000可通過其創新的毯式沈積技術達到最佳性能,該技術可提供單一快門循環在整個壁對壁室內均勻的高精度沈積。這有助於減少工藝時間和材料成本。其先進的等離子體反應堆共有四盞燈,在等離子體室中提供穩定均勻的功率。APPLIED MATERIALS P5000還采用磁控管控制室內電子發射速率。這允許更快的濺射速率和提高均勻性的存款。P5000提供了許多附加功能,使其成為成功制造各種薄膜基板的絕佳選擇。它包括一個自動索引,以防止基板損壞不對準。其壓力控制允許室內最佳真空壓力,其基板加熱功能可用於提高沈積產量和質量。AMAT P 5000提供卓越的性能、穩定性和易用性。它可以有效地制造出各種具有卓越均勻性和精確度的薄膜基板。這使其成為為各種應用程序生產獨特的高性能介質的理想工具。
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