二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293609327 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種先進的物理氣相沈積（PVD）反應器設備，用於半導體工業中生產復雜結構和光電器件的薄膜沈積。該反應器具有集成的低溫蒸發源和高溫石英基板支架，提供可靠高效的沈積過程。AMAT P-5000還包括一個創新的基板傳輸系統，它能夠每分鐘傳輸多達20個晶圓，並確保更短的周期時間。APPLIED MATERIALS P 5000有幾種不同的腔室設計，所有設計都是為了最大限度地提高生產力和性能。雙口袋設計實現了標準和中頻射頻等離子體,而分體式口袋設計提供了額外的氣體隔離、優越的角度和極快的晶圓傳輸。所有腔室還配備了最先進的溫度控制器，確保了可靠的工藝控制和均勻的薄膜沈積。APPLICED MATERIALS P-5000還采用了其他幾種先進技術,例如允許在同一工藝中沈積復雜多層的多層薄膜沈積裝置,以及用於快速基板部署的高通量批處理爐技術。此外，該機器還包括許多傳感器、監視器和控制系統，為操作員提供實時反饋和診斷能力。這使操作員能夠根據需要調整參數，大大提高過程穩定性和可靠性。該工具還包括若幹安全功能，例如自動放大資產，在發生意外的高能等離子體電弧時自動關閉前體，以及批量反應堆手動模式，這種模式能夠完全手動控制沐浴者及其操作。此外，AMAT P 5000型號還可富含外部真空泵，如氦泵，以確保清潔工藝條件。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一種強大而可靠的PVD反應堆設備。利用各種腔室設計、先進技術和安全特性，確保了精密高效的沈積工藝，同時也保證了工藝的穩定性和可靠性。