二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293609328 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是用於半導體材料和集成電路蝕刻的最先進的等離子體蝕刻反應器。這種等離子體蝕刻反應器的設計保證了精確和可重復的結果具有先進的均勻性。它具有先進的等離子體源、工藝室設計、晶圓處理系統和直觀的控制系統。AMAT P-5000旨在為許多不同的材料提供高精度和高效的等離子體蝕刻工藝。應用材料P 5000等離子體蝕刻反應器由工藝室、高頻射頻（RF）電源、真空泵和運輸機器人組成。工藝室采用不銹鋼制成，密封，確保真空環境受控。加工室內部有兩個電極，一個是基板支架的形式，另一個是空心圓柱形磁控管的形式。基板支架用於運輸基板，並在其與磁控管電極之間提供施加的電壓。磁控管電極能夠產生振蕩質子束，使腔內的氣體分子電離。高頻射頻電源提供了在腔內創造和維持等離子體的能量。磁控管通常以13.56 MHz的頻率運行，但可以使用其他頻率。射頻電源還包含電源、波導和匹配的網絡。電源提供DC和RF功率，波導和匹配網絡調節信號，確保最佳等離子體條件。真空泵確保腔室沒有不需要的氣體，提供10-4 Torr的底壓。利用傳輸機器人提高吞吐量，使得多個晶片可以同時處理。此外，AMAT P5000具有直觀的控制系統，允許用戶輕松調整蝕刻過程的參數。AMAT P 5000是一種高度先進的等離子體蝕刻反應器，能夠精確蝕刻半導體和集成電路，並具有可重復的結果。憑借其先進的射頻電源、工藝室設計、運輸機器人以及直觀的人性化控制系統，P 5000能夠提供卓越的工藝性能。