二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293616570 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種單晶圓、高通量、等離子體浸沒離子註入（PIII）反應器。它是一個用途廣泛的系統,適用於各種應用,從高級包裝和設備集成到研發和大批量制造。AMAT P-5000提供了極佳的最大劑量均勻性和出色的晶片到晶片的可重復性，使其成為TSV、oLED、MEMS、FinFET和3D-ICs等關鍵應用的首選。APPLICED MATERIALS P 5000配備了一個可處理六英寸晶圓的雙口袋、強制模式載荷鎖，以及一個包含先進等離子體源和磁性限制組件的密封室。雙口袋設計可確保晶片在合理的時間輕松裝卸,從而提高吞吐量。P5000還具有計算機控制系統和用戶友好的圖形界面，便於設置、參數控制和數據采集。它包括所有必要的參數設置、監視器和警報,以實現高效操作。采用深腔室設計和獨特的球形基板支架，APPLICED MATERIALS P-5000可以利用全反射率容納晶片，從而獲得最佳晶片對晶片均勻性和工藝重復性。強大的等離子體源和先進的磁約束組件在整個晶片上提供均勻的離子轟擊，在其直徑上具有極好的均勻性。AMAT P5000的一個關鍵特點是其低能量植入能力。應用材料uC/cm2反應器具有1-100 keV的光束能量範圍和高達600 P5000的總晶圓劑量,可提供業界領先的植入效率和離子劑量控制。結合<2%的均勻性,P-5000非常適合汽車、醫療和消費電子產品市場上要求苛刻、高精度的植入應用。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000結合其嚴格的控制、優化和工藝重復性，具有很高的可靠性、穩定性和高效率。它既是研發的絕佳選擇，也是量產的絕佳選擇。