二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293620899 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種高溫化學氣相沈積（HTCVD）反應器，用於將薄膜、塗層和電介質沈積在長達6英寸的基板上。它配備了雙冷壁石英管設計，允許材料同時沈積在基板兩側。雙管設計與優化的冷卻區布局相結合，旨在最大限度地減少沈積高度均勻的薄膜層時顆粒漂移的影響。AMAT P-5000能夠在高達1200C或更高的溫度下運行，從而實現了多種材料的沈積，包括二氧化矽、氮化矽、氮化全新和各種其他金屬氮化物和氧化物。APPLIED MATERIALS P 5000的加熱設備采用陶瓷基爐膛，設計用於快速啟動和均勻的溫度，在基板上的溫度梯度最小。P5000配有板載光譜系統，可現場監測和控制薄膜沈積。此外，它還有一個動態壓力控制單元，通過保持可重復的基板溫度、氣流和浴液壓力來確保過程的重復性。AMAT/APPLICED MATERIALS P-5000還配備了多個閥門，可以切換工藝氣體，控制矽烷產生的材料，確保膜均勻沈積在基板上。氣源通過屏蔽管道系統輸送到P-5000，最大限度地減少汙染的可能性。APPLICED MATERIALS P5000還有一個內置的自動粒子過濾機，用於凈化過程中的氣體，確保最優質的薄膜。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000旨在輕松集成到各種沈積系統中,從而實現更簡單、更經濟高效的制造過程。此外,它還易於維修和維護,進一步降低了擁有成本。通過整合HTDV技術的最新發展,APPLIED MATERIALS P-5000非常適合生產高質量、高通量的薄膜、塗層和電介質,適用於廣泛的應用。它是大學、研究和先進制造機構以及汽車和醫療器械制造商的理想選擇。