二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293622411 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一個生產規模的原子層沈積反應堆。該反應堆的設計目的是將氮化物、氧化物和氟化物高通量地沈積到大型基板上。反應堆建在多級平臺上，允許單程沈積多層不同材料。其加工室由不銹鋼制成，並由石墨表面石英敏感器支撐，以確保整個晶片的溫度均勻。反應堆由一臺目標沈積速率為30-200 A/min的石英晶體Micro Balance（QCM）設備提供動力。沈積膜厚度均勻，保形，無針孔。AMAT P-5000具有精密的雙級ABC自動校準系統,能夠控制誤差範圍低至0.5°C的基板溫度。與此單元相配合的是先進的安全特性，如斷路器機器（Circuit Breaker Machine）和Over/Under Temperature Shutoff。這些安全系統在溫度超過安全極限的情況下將電源關閉到腔室，從而消除晶圓損壞的風險。此外，其可選的清洗工具確保探測和清除室內的顆粒和氣體，以便生產無針孔薄膜。APPLIED MATERIALS P 5000還提供了先進的多通道氣體管理資產。該模型是為精確可靠地控制沈積序列而設計的.它包括特殊的軟件，允許評估所有工藝參數，以優化膜的質量和吞吐量。最重要的是，AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000反應堆具有靈活性和可定制性。用戶可以選擇設置自己的流程序列並調整沈積參數,以滿足其特定的應用需求。總體而言，AMAT P5000原子層沈積反應器是高質量薄膜沈積的有力而可靠的工具。它提供先進的安全功能和精確的控制系統，以確保質量和一致性。憑借其可自定義的平臺和用戶友好的界面，該反應堆是生產規模沈積氮化物、氧化物和氟化物的理想選擇。