二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293627747 待售

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ID: 293627747
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
System, 6" Process: Nitride (2) Chambers DLH 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是為各種熱過程設計的高溫多功能加工設備。廣泛應用於半導體和先進材料行業,用於沈積、蝕刻、退火、燒結、包裝等多種先進材料加工應用。AMAT P-5000 Reactor具有一個超薄壁陶瓷室,提供出色的溫度均勻性,極好的可靠性和寬廣的工藝窗口。陶瓷襯裏封裝設計防止腐蝕性氣體泄漏,並允許達到高達1000 °C (1832 °F)的溫度。該反應堆能夠按照全球生產標準進行精確的熱處理。有一系列加熱元件,包括感應加熱和大功率陶瓷紅外元件。在內部,反應堆具有針對基板和晶片的定制配置,包括高精度對準和定位。APPLICED MATERIALS P 5000 Reactor與高性能控制器緊密集成,實現了一致的、可重復的過程,具有出色的溫度和過程變量調節。集成軟件系統與外部設備集成,快速、準確地處理配方。反應堆還配備了完全安全的特點,包括防爆套管和外部監控的聯鎖系統。APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一種先進、用途廣泛的半導體、先進材料和其他工業應用研究解決方案。它旨在為客戶提供高溫下高質量加工和嚴格過程控制的好處,提供短流程周期和寬廣的流程窗口。反應堆的先進設計和能力使其成為最佳性能至高無上的行業的理想選擇。
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