二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293677299 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應器是一種CVD（化學氣相沈積）工具，用於在集成電路上沈積薄膜。這種先進的沈積設備具有獨特的設計，能夠在任何表面或基板上均勻沈積，提供無與倫比的可重復性和過程控制水平。AMAT P-5000反應器由負載鎖、工藝室和排氣室三個主要部分組成。負載鎖設計方便樣品裝卸，為晶片裝卸提供了一個快速便捷的過程。封閉式腔室采用多區雙套設計，以提高溫度和壓力均勻性。排氣室配有一個適合安全設計的堅固過濾系統，以及一個自動氣門單元，以維持最佳的腔室壓力。應用材料P 5000反應器可以同時處理多達五種底物，並且可以擴展到一次處理多達20種底物。這種靈活性允許增加吞吐量以及執行大規模沈積過程的能力。該機具備局部和完整膜沈積等多種功能，以及修邊技術，適合多種沈積任務。此外，AMAT P 5000反應堆還配備了一系列先進的特性，以提供卓越的工藝控制。這些特點包括利用ASIC（應用專用集成電路）進行實時監控的數據采集工具、在整個腔室表面上將溫度控制在+/-0.5攝氏度、提高傳熱速率以加快溫度上升速度以及采用低反射腔室壁以增強均勻性和過程重復性。P-5000反應堆已被證明是集成電路制造商的寶貴資產，為任何集成電路提供最可靠和最具成本效益的沈積解決方案。它廣泛應用於半導體行業，從研發到大規模生產，由於其優越的工藝控制和優越的效果。