二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293690469 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應器是一種先進的高通量垂直晶體管器件制造設備。它用於超高性能設備處理,提供無與倫比的設備性能、產量和可靠性。該設備能夠處理直徑從1到6英寸的晶片。它使用感應加熱的熱墻石英基座進行基板加熱，並且能夠在高達15分鐘的時間內200W 500 °C的吸收功率。最高溫度可設置為1250 °C。該系統配有自動等離子清洗功能和計算機控制的過程控制單元。AMAT基板對準技術既能批量加工,又能單片加工.它還提供了過程和傳輸模塊之間的快速晶圓傳輸。它還提供了一個高度靈活和精確的晶圓處理機。AMAT P-5000反應堆裝有先進的電子回旋共振（ECR）微波源，用於氧氣和矽等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）。此過程可實現高密度和高質量的沈積。PECVD反應器能夠處理高達900°C的溫度，並能達到高達每分鐘6微米的沈積速率。APPLIED MATERIALS P 5000工具還具有溫度和氧氣反饋控制功能，對工藝參數提供最高水平的控制。它還提供了可調的過程壓力和等離子體能量，在基板沈積過程中提供了高度的均勻性。該資產還提供了透明的石英晶圓傳輸窗口。這項功能可以用光學顯微鏡、紫外線（UV）反射或紅外（IR）輻射監測腔室和晶片。總體而言，P-5000反應器是一種先進的高通量垂直晶體管器件制造模型，能夠提供超高性能的器件加工、產量和可靠性。它具有廣泛的特性和功能,非常適合制造高性能、低成本的晶體管設備。
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