二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293690471 待售

ID: 293690471
優質的: 1992
System Mainframe 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種垂直熱處理反應器,旨在支持無機材料如氮化物、氧化物和金屬的外延薄膜沈積。AMAT P-5000的獨特設計是基於高性能、高純度、低顆粒汙染反應堆室。這種高可靠性反應堆除了具有更大的設計靈活性之外,還提供了出色的薄膜處理。APPLIED MATERIALS P 5000適用於多種沈積過程,如原子層沈積(ALD)、化學氣相沈積(CVD)、物理氣相沈積(PVD)。反應堆可以在大氣壓(Atmo)或高真空(HV)模式下運行,這取決於所需的沈積過程。其先進的控制設備確保了對溫度、壓力、時間等所有工藝要求的精確控制。工程師可以輕松地訪問核心組件,例如壓板、氣體分配組件、樣品支架組件和電源。反應堆還包括用於射頻發電機的先進射頻匹配網絡和用於氣體分配、流量控制和主動監測的集成氣體面板。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000的設計考慮了生產率,具有多種先進的功能,可最大限度地提高沈積吞吐量,包括大容量加工泵、快速實時配方召回和高速基板傳輸系統。在堅固的腔室結構下,反應器有助於確保均勻的傳熱,從而產生優異的沈積效果。AMAT P5000還具有基於配方的自動化控制系統,使過程的可重復性能夠產生一致的結果。用戶友好型設備采用集成式安全機器,滿足許多安全標準的要求,並提供廣泛的故障排除支持。為了提供廣泛的處理選項,可以使用各種高級組件(如冷卻板、熱板和感光器)來定制P5000。這使工程師能夠選擇其特定沈積過程所特有的組件,並優化其總體生產吞吐量。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000經過了廣泛的測試和認證,具有高性能和可靠性。它具有可靠、可重復的結果和各種可定制的組件,是任何高產精密薄膜沈積加工要求的理想選擇。
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