二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293690473 待售

'AMAT/APPLIED MATERIALS P5000'反應器是一種單一晶片工藝工具，主要用於MEMS和半導體工業，提供高精度和高性能的工藝，包括薄膜沈積。AMAT P-5000利用真空沈積源將薄膜層沈積在矽片上。它是半導體、MEMS和光電應用的行業領先設備。該系統由模塊化設計組成,可在1x2x2配置中同時運行多達四個晶片源。該設備還配備了一臺用於基板處理的機器人機器，該機器設計用於工作多達4英寸的基板，但也允許5英寸的過程運行。在APPLIED MATERIALS P 5000中提供的薄膜沈積工藝允許在整個晶片上均勻沈積材料。該工具的另一個特點是內置的氧化和氮化過程，這使得氧化材料能夠沈積。P5000采用的先進薄片技術使沈積工藝比其他現有設備更加精確和均勻。該資產專門針對小至10nm的特定薄膜層而設計。基板加熱器在過程中受到主動控制，加熱至高溫，確保提高均勻性和均勻薄膜層。此外，該型號配備了射頻、直流、微波電源，使得復雜材料和結構的合成成為可能。該設備允許高吞吐量,因為它每小時最多可處理50個晶圓。所有與沈積過程相關的參數都可以通過嵌入式控制系統進行控制，從而為每個沈積過程提供優化參數。此外，該單元的設計，以適應廣泛的基板材料和厚度的基板。總之，P5000是一種先進的薄膜沈積工藝機器，是專門為滿足MEMS和半導體要求而設計的。它是研發的絕佳工具，因為它可以在整個晶片上實現精確的薄膜沈積和均勻性。P-5000具有溫度控制系統和自動處理等功能,是一種強大而可靠的薄膜沈積工具。