二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293729488 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一種特殊的半導體工具，用於各種應用。它是一個獨特的平臺，可以靈活配置用於多種過程，包括等離子體蝕刻、沈積和清潔。該工具由一個不銹鋼真空室組成，該真空室被泵送到幾毫升的底壓。該腔室在溫度和振動上被護罩部件隔離，以確保操作過程中穩定的底層條件。位於室內的上部臺式設備裝有與電源連接的電極和晶片支架。晶圓座最多可支援雙晶圓座中的兩個晶圓。電極懸浮在晶片表面上方，確保晶片上的等離子體負載均勻。AMAT P-5000反應堆利用氣體輸送系統，包括氣體面板和歧管，為腔室配置必要的工藝氣體。再循環裝置允許腔室保持低水平的後側排氣，以防止產品汙染。一個獨特的HEPA過濾機可以結合減少空氣中的顆粒。配方管理器位於工具的底部,負責控制流程的各種配方和設置。可以調整所有溫度、壓力和等離子體設置,以優化吞吐量和產量.應用材料P 5000反應器是許多先進集成電路處理策略的可靠主力軍。它對自定義配置的靈活性和容量使其成為各種應用程序的有效工具。其獨特的設計使工藝工程師能夠利用最新的處理技術,在具有競爭力的吞吐量下實現高產率。