二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293729490 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種商用級反應器，設計用於執行先進的材料合成、沈積和蝕刻工藝。它是一個雙源感應耦合等離子體（ICP）反應器，可以同時處理多個晶片，使其成為生產大容量基板的理想選擇。AMAT P-5000中使用的ICP源可以在13.56MHz或27.12MHz運行,從而與各種材料、工藝和應用程序完全兼容。它還包括全頻譜原位監控功能，以監控流程性能。ICP源可以達到高達1000C的溫度,允許各種高溫過程。APPLIED MATERIALS P 5000旨在優化過程控制,提供直接過程控制（DPC）機制和反饋機制。DPC模式允許可調氣流、壓力、幾何形狀和環境條件,以實現卓越的過程可控性。反饋模式還使設備能夠快速適應不斷變化的工藝條件，從而能夠快速準確地優化工藝參數。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000利用先進的自動晶圓傳輸系統,可同時處理多達24個晶圓,從而實現高吞吐量。負載鎖定設計非常適合高效的物料裝卸，而本地化的現場監控單元實時監控沈積和蝕刻過程條件，使操作員對過程有更多的控制。P-5000還提供了先進的潔凈室設計和出色的化學管理能力，並配備了能夠精確調節化學流動和測量的自動化機器。這確保了可靠和穩定的過程操作窗口。這些功能使APPLIED MATERIALS P-5000成為大批量生產環境的絕佳選擇,提供了卓越的工藝產量和卓越的工藝性能。